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等离子体蚀刻及其在大规模集成电路制造中的应用(第2版)

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  • 包装:平装
  • 出版社:清华大学
  • ISBN:9787302614395
  • 作者:编者:张海洋|责编:文怡
  • 页数:423
  • 出版日期:2023-01-01
  • 印刷日期:2023-01-01
  • 开本:16开
  • 版次:2
  • 印次:1
  • 字数:698千字